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Specialty Gases
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Pure Gas
제품정보Specialty GasesPure Gas
하나 머티리얼즈의 특수가스 제품을 소개합니다.
기술과 미래가 성장하는 하나 머티리얼즈
특수가스 분야의 고객가치 경영을
추구해나가겠습니다.
특수가스 분야의 고객가치 경영을
추구해나가겠습니다.
Pure Gas
| Gas Name | Purity | Cylinder Size | Valve Type |
|---|---|---|---|
| NO | 3N | 47L | JIS22R |
| 3N5 | |||
| 4N | |||
| CF4 | 5N | 47L, 440L | DISS716, JIS22R |
| HBr | 5N | 15.74L, 47L | JIS22L, CGA330 |
| 5N5 | |||
| SiH4 | 6N | 47L, 440L | DISS632, JIS22L |
| Si2H6 | 4N8 | 47L | JIS22L |
| He | 5N | 47L | JIS22R |
| 6N | |||
| N2 | 6N | 47L | JIS22R |
| H2 | 6N | 47L | JIS22L |
| Ar | 6N | 47L | JIS22R |
| AsH3 | 6N | 44L | DISS632 |
| BCl3 | 5N | 47L | CGA660 |
| BF3 | 3N5 | 47L | CGA330 |
| C2F6 | 5N | 47L | JIS22R |
| C2H4 | 3N5 | 47L | CGA510 |
| C4F8 | 4N | 49L | CGA660 |
| CHF3 | 5N | 47L | JIS22R |
| CO2 | 5N | 47L, 440L | JIS22R, DISS716 |
| GeH4 | 5N | 44L | DISS632 |
| HCl | 5N | 47L | CGA330 |
| Kr | 5N | 50L | CGA580 |
| Ne | 5N | 49L | CGA580 |
| NF3 | 4N | 47L | DISS640 |
| SiH2Cl2 (DCS) | 3N | 40L | CGA678 |
| SiHCl3 (TCS) | 4N | 210L | 1/2" VCR Diaphragm |
| WF6 | 5N5 | 10L | CGA638 |
| Xe | 6N | 50L | CGA580 |