Silicon Carbide|CVD-SiC Bulk

Silicon Carbide

CVD-SiC Bulk

제품정보Silicon CarbideCVD-SiC Bulk

하나 머티리얼즈의 실리콘 카바이드 제품을 소개합니다.

기술과 미래가 성장하는 하나 머티리얼즈
실리콘 카바이드 분야의 고객가치 경영을
추구해나가겠습니다.
CVD-SiC Bulk
Description
  • CVC or CVD bulk selective
  • High corrosion resistance
  • Resistivity control
Applications
  • Dry etcher for semiconductor process
Specification
Properties Value
Density (g/cm³) 3.21
Flexural strength (MPa) 500
Vickers hardness (Hv) 2,400
Thermal conductivity (W/mK) 170
Resistivity (Ω-cm) 0.1~1000