Fine Ceramics|Al2O3

Fine Ceramics

Al2O3(Aluminum Oxide)

제품정보Fine CeramicsAl2O3

하나 머티리얼즈의 파인 세라믹스 제품을 소개합니다.

기술과 미래가 성장하는 하나 머티리얼즈
파인 세라믹스 분야의 고객가치 경영을
추구해나가겠습니다.
Aluminum Oxide
Description
  • High pure Al2O3 normally has above 99.5% of purity and include fine grains (~< 1um) above 80%.
  • High pure Al2O3 has high mechanical hardness, wear resistance, thermal resistance, and insulation properties.
Applications
  • Dry etcher and CVD for semiconductor process
Specification
Properties Value
Density (g/cm³) 3.9
Flexural strength (MPa) 370
Vickers hardness (GPa) 17.2
Thermal Conductivity (W/mK, @20℃) 30
Dielectric Strength (V/m) 15 X 106